華北光電技術(shù)研究所研究不同像元間距紅外探測(cè)器的銦柱生長(zhǎng)
由于大面陣探測(cè)器的制造難度很大,減小像元間距是實(shí)現(xiàn)大面陣、超大面陣探測(cè)器的主要方法。像元間距的減小會(huì)導(dǎo)致讀出電路打底層和銦柱尺寸縮小,對(duì)銦凸點(diǎn)的尺寸和倒裝互連技術(shù)提出了挑戰(zhàn),對(duì)于銦柱生長(zhǎng)工藝也是如此。由于互連后探測(cè)器的光電流信號(hào)要通過(guò)銦連接引出,所以銦柱生長(zhǎng)質(zhì)量的好壞會(huì)影響探測(cè)器最終的整體性能。
(資料圖片)
據(jù)麥姆斯咨詢報(bào)道,近期,華北光電技術(shù)研究所的科研團(tuán)隊(duì)在《紅外》期刊上發(fā)表了以“不同像元間距紅外探測(cè)器的銦柱生長(zhǎng)研究”為主題的文章。該文章第一作者和通訊作者為張鵬高級(jí)工程師,主要從事紅外探測(cè)器器件工藝方面的研究工作。
在銦柱生長(zhǎng)工藝中,銦柱高度除了與銦蒸發(fā)的工藝條件有關(guān)之外,還與銦柱光刻的條件、像元間距大小等因素存在一定關(guān)聯(lián)。本文通過(guò)實(shí)驗(yàn)分析像元間距的大小對(duì)銦柱高度的具體影響,并研究如何減少和消除這種影響。
不同像元間距的銦柱生長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)
銦柱生長(zhǎng)的工藝流程如下:在讀出電路或者芯片的表面進(jìn)行光刻;光刻好銦柱孔,再將其放入銦蒸發(fā)設(shè)備進(jìn)行銦柱生長(zhǎng)。生長(zhǎng)完成后,進(jìn)行濕化學(xué)剝離工藝,去除讀出電路或者芯片表面的光刻膠及多余的銦膜層,留下銦柱。
本文選取3個(gè)實(shí)驗(yàn)片,分別光刻上不同的圖形。每個(gè)圖形的像元間距不同,分別為25 μm、15 μm 和15 μm;其余的條件都相同。在實(shí)驗(yàn)片上完成電極打底層之后再進(jìn)行銦柱孔光刻。光刻膠的厚度設(shè)定為9 μm,銦柱光刻孔的直徑分別設(shè)定為20 μm、12 μm 和5 μm。光刻完成后進(jìn)行銦蒸發(fā)工藝。該工藝的條件如下:真空度為2.2×10?? Pa,樣品盤的溫度為0℃,蒸發(fā)電流為400 A,蒸發(fā)速率為30 ?/S,蒸銦的厚度為6 μm,工藝時(shí)間為33 min。
銦蒸發(fā)完成之后,取出實(shí)驗(yàn)片,用掃描電子顯微鏡(SEM)觀察銦膜層的表面形貌;隨后利用聚焦離子束(FIB)技術(shù)將銦柱光刻孔從上向下垂直切開(kāi)一部分,并用SEM觀察銦柱光刻孔切開(kāi)以后的內(nèi)部詳細(xì)結(jié)構(gòu)。接著采用濕化學(xué)剝離工藝去除實(shí)驗(yàn)片表面的銦膜層,留下銦柱,然后測(cè)量銦柱的高度。
這三個(gè)實(shí)驗(yàn)片的銦膜層表面形貌如圖1所示;銦柱光刻孔被切開(kāi)后的截面形貌如圖2所示。通過(guò)對(duì)比以上圖片可以看出:
圖1 表面形貌圖(像元間距為25 μm、15 μm、10 μm)
圖2 截面形貌圖(銦柱光刻孔直徑為20 μm、12 μm、5 μm)
(1)對(duì)于不同像元間距的實(shí)驗(yàn)片,銦膜層表面形貌圖的差異很大。像元間距為25 μm和15 μm的實(shí)驗(yàn)片的銦柱孔開(kāi)孔形狀基本正常;像元間距為10 μm的實(shí)驗(yàn)片的銦柱孔開(kāi)孔變得很小,形狀也成了不規(guī)則的圓形。
(2)在截面形貌圖中,深色部分是光刻膠,淺色部分是銦層,銦膜層主要沉積在銦柱孔底部和光刻膠頂部。銦柱孔底部的銦膜層厚度比光刻膠頂部的薄一些,截面呈上窄下寬的正梯形,這是因?yàn)樵阢煶练e時(shí)受到頂部銦遮擋的影響。而不同像元間距實(shí)驗(yàn)片的銦柱孔底部銦膜層的厚度、形貌存在差異。
(3)光刻膠頂部的銦膜層除了在垂直方向生長(zhǎng)之外,還發(fā)生了水平方向的生長(zhǎng)。水平生長(zhǎng)的銦膜層像個(gè)“帽子”一樣蓋在光刻膠頂部,對(duì)銦柱孔內(nèi)的銦沉積產(chǎn)生遮擋的影響(見(jiàn)圖2)。在銦膜層不斷沉積的過(guò)程中,“帽子”會(huì)越來(lái)越大,對(duì)銦柱孔底部銦沉積的遮擋影響也會(huì)越來(lái)越大。
(4)把光刻膠和多余的銦膜層用濕化學(xué)工藝剝離干凈后,留下銦柱。通過(guò)測(cè)量獲得銦柱的高度。不同像元間距實(shí)驗(yàn)片最后的銦柱高度也不相同,25 μm時(shí)銦柱高度最高,10 μm時(shí)銦柱高度最矮(具體數(shù)值將在后文分析)。
結(jié)果分析
在銦蒸發(fā)過(guò)程中,沉積到樣品表面的銦原子團(tuán)一部分直接凝結(jié),還有一部分在銦的表面上遷移。銦原子團(tuán)的遷移過(guò)程會(huì)導(dǎo)致原子團(tuán)之間相互碰撞、合并并最終凝結(jié)。由于芯片表面存在銦柱光刻孔而并不是一個(gè)平面,所以在銦沉積過(guò)程中,銦原子團(tuán)有一部分沉積在銦柱孔底部,還有一部分沉積在光刻膠的頂部。
在銦膜層厚度增加的同時(shí),沉積在光刻膠頂部的銦膜層還會(huì)以一定的速度向水平方向生長(zhǎng)。這個(gè)速度與銦的垂直生長(zhǎng)速度、蒸發(fā)銦離子的入射角、光刻膠表面的結(jié)構(gòu)特性等多種因素有關(guān)。這種水平生長(zhǎng)會(huì)阻擋銦原子團(tuán)向銦柱光刻孔內(nèi)部的沉積,而只有沉積到光刻孔底部的銦膜層才能形成銦柱,所以這種水平方向的銦生長(zhǎng)對(duì)銦柱沉積是不利的。
圖3為銦柱光刻孔內(nèi)的示意圖。其中,Gv為銦膜層的垂直生長(zhǎng)速度;GH為光刻孔頂部的銦水平生長(zhǎng)速度;d為銦柱頂部的直徑;D為銦柱底部的直徑,其大小等于銦柱光刻孔的開(kāi)孔直徑;h為銦柱的高度;hmax為銦柱的最大高度。在銦蒸發(fā)的過(guò)程中,剛開(kāi)始時(shí)銦還沒(méi)有產(chǎn)生遮擋,所以銦柱光刻孔內(nèi)的銦柱直徑與光刻孔的開(kāi)孔直徑相等。蒸發(fā)過(guò)程中,銦膜層的厚度逐漸增大,而銦在水平方向上不斷生長(zhǎng),產(chǎn)生了遮擋;銦柱光刻孔的開(kāi)孔直徑逐漸減小,光刻孔內(nèi)的銦柱頂部直徑也逐漸減小;隨著銦膜層厚度的不斷增大,銦柱光刻孔的開(kāi)孔最終將閉合。從以上分析能看出,銦柱的最終高度hmax跟Gv和GH的比值有關(guān)。
圖3 銦柱光刻孔內(nèi)的示意圖
通過(guò)顯微鏡測(cè)量,獲得了不同實(shí)驗(yàn)片的銦水平生長(zhǎng)寬度w,并計(jì)算出了銦水平方向的生長(zhǎng)速度GH(結(jié)果見(jiàn)表1)。從表1中可以看出,雖然像元間距、光刻孔直徑不相同,但是銦水平生長(zhǎng)的寬度接近,銦水平生長(zhǎng)速度也相差不大。
在銦生長(zhǎng)過(guò)程中,銦柱光刻孔頂部的銦朝水平方向不斷生長(zhǎng),光刻孔的開(kāi)孔直徑逐漸變小,進(jìn)入到孔內(nèi)部的銦也會(huì)逐漸減少。銦生長(zhǎng)結(jié)束后的銦柱光刻孔與最開(kāi)始的光刻孔相比,直徑變小了,光刻孔開(kāi)孔的面積也變小了,有一部分面積被銦堵塞了。
本次實(shí)驗(yàn)中,像元間距為25 μm的實(shí)驗(yàn)片的光刻孔直徑為20 μm,犘為67%,銦柱的高度最高(5.80 μm)。像元間距為10 μm的實(shí)驗(yàn)片的光刻孔直徑為5 μm,犘僅為11%;光刻孔在蒸銦結(jié)束后,大部分面積被遮擋,所以銦柱的高度最低(1.97 μm),無(wú)法滿足互連的要求。對(duì)于10 μm以下的像元間距(如7 μm),要獲得滿足互連要求的銦柱高度,則會(huì)更加困難。
解決辦法
針對(duì)10 μm及以下像元間距的大面陣紅外探測(cè)器銦柱高度不夠的問(wèn)題,通過(guò)長(zhǎng)期實(shí)驗(yàn)得到以下幾個(gè)解決辦法。
增加銦蒸發(fā)的速率
在蒸銦過(guò)程中增大蒸發(fā)速率后,從銦材料表面逸出的銦原子所攜帶的能量更大,銦原子就具有更強(qiáng)的遷移能力,能夠移動(dòng)得更遠(yuǎn),即銦原子容易遷移到能量狀態(tài)更低的位置。同時(shí),隨著蒸銦速率的提高,銦原子的臨界核心半徑和臨界形核自由能減小,形成更細(xì)密的膜層組織,有助于提高銦膜層的質(zhì)量。
增大銦柱光刻孔的直徑
像元間距一旦確定就無(wú)法更改,但是銦柱光刻孔的直徑在一定范圍內(nèi)是可以調(diào)整的。從前文的分析來(lái)看,增大銦柱光刻孔的直徑,對(duì)于增加銦柱高度是有幫助的。在10 μm像元間距的實(shí)驗(yàn)中,銦柱光刻孔的直徑為5 μm,剝離后銦柱的高度比較矮。如果增大銦柱光刻孔的直徑(達(dá)到7~8 μm),那么在銦蒸發(fā)過(guò)程中進(jìn)入到光刻孔內(nèi)的銦會(huì)更多,剝離后銦柱的高度就能增加。但是,增大銦柱光刻孔直徑的方法也會(huì)對(duì)光刻提出一些更高的要求。
減小光刻膠的厚度
從前面實(shí)驗(yàn)中垂直切開(kāi)的截面形貌圖來(lái)看,光刻膠的厚度較厚,導(dǎo)致銦柱光刻孔的深寬比過(guò)大,對(duì)剝離后的銦柱高度產(chǎn)生不利的影響。如果減薄光刻膠的厚度,減小銦柱光刻孔的深寬比,將有利于銦柱的沉積。但是,若光刻膠的厚度過(guò)薄,則會(huì)導(dǎo)致后續(xù)濕化學(xué)剝離工藝?yán)щy。因此,光刻膠的厚度應(yīng)通過(guò)實(shí)驗(yàn)選取最優(yōu)值,既有利于銦柱的沉積,又不會(huì)影響濕化學(xué)剝離工藝。
在采用上述幾種方法后,重新開(kāi)展了一次銦柱生長(zhǎng)實(shí)驗(yàn)。像元間距設(shè)定為10 μm,銦柱光刻孔的直徑增大到7 μm,光刻膠的厚度減小到7~8 μm,并增大銦蒸發(fā)的速率。蒸銦工藝完成后,用SEM觀察銦表面形貌,并用FIB將銦柱光刻孔垂直切開(kāi),觀察其內(nèi)部結(jié)構(gòu)(結(jié)果見(jiàn)圖4)。
從圖4中可以看出,銦柱光刻孔存在堵塞的情況,但比上次實(shí)驗(yàn)明顯好轉(zhuǎn);這次銦柱光刻孔底部的沉積比較好。經(jīng)測(cè)量,銦水平生長(zhǎng)寬度為1.78 μm,與上次實(shí)驗(yàn)結(jié)果接近;犘為27%,優(yōu)于上次實(shí)驗(yàn)中銦柱光刻孔直徑為5 μm時(shí)的結(jié)果;剝離后銦柱的高度為5.05 μm,也優(yōu)于上次實(shí)驗(yàn)的結(jié)果。
圖4 表面形貌圖(像元間距為10 μm)和截面形貌圖(銦柱光刻孔直徑為7 μm)
結(jié)束語(yǔ)
本文詳細(xì)研究了在不同像元間距(25 μm、15 μm、10 μm)的條件下,銦柱生長(zhǎng)工藝完成后銦膜層表面的形貌和銦柱光刻孔截面的內(nèi)部微觀結(jié)構(gòu)。在銦沉積的過(guò)程中,銦原子團(tuán)除了垂直生長(zhǎng)之外,還在光刻膠的頂部以一定的速率朝水平方向生長(zhǎng)。這種水平方向的生長(zhǎng)會(huì)在光刻膠頂部形成一個(gè)“帽子”而產(chǎn)生遮擋,不利于光刻孔內(nèi)的銦沉積,造成銦沉積量減少,剝離后的銦柱變矮。這在25 μm和15 μm像元間距時(shí)對(duì)銦柱高度的影響并不大;但在10 μm像元間距時(shí)對(duì)銦柱高度的影響會(huì)很大。
針對(duì)10 μm及以下像元間距的銦柱高度問(wèn)題,給出了幾種解決方法:增大蒸發(fā)速率、增大銦柱光刻孔直徑和減小光刻膠厚度等。在新實(shí)驗(yàn)中使用了這幾種方法,取得了比較好的結(jié)果:剝離后銦柱高度為5.05 μm。下一步將重點(diǎn)研究更小像元間距(如7.5 μm或5 μm)條件下銦柱的生長(zhǎng)情況、表面形貌,銦柱高度均勻性以及它們對(duì)互連工藝的影響。
DOI: 10.3969/j.issn.1672-8785.2023.07.001
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華北暴雨“瘋狂傾倒”70多小時(shí)平均降雨量遠(yuǎn)超北京“721”特大暴雨
【華北暴雨“瘋狂傾倒”70多小時(shí),平均降雨量遠(yuǎn)超北京“7·21”特大暴
童年陰影的10部國(guó)產(chǎn)恐怖動(dòng)畫片,部部腦洞大開(kāi),尤其是最后一部
從《大盜賊》到《魔方大廈》,這些國(guó)產(chǎn)恐怖動(dòng)畫片展現(xiàn)了腦洞大開(kāi)的故事
標(biāo)準(zhǔn)化零工市場(chǎng)讓靈活就業(yè)者好就業(yè)、就好業(yè)
近日,正式揭牌運(yùn)營(yíng)的內(nèi)蒙古自治區(qū)呼和浩特市賽罕區(qū)首家標(biāo)準(zhǔn)化零工市場(chǎng)
孕婦早期吃什么補(bǔ)氣血(孕婦初期吃什么補(bǔ)氣血最快最好)
1、氣血雙補(bǔ)需以食用補(bǔ)血、補(bǔ)氣的食物、藥物慢慢調(diào)養(yǎng),切不可超之過(guò)急
上半年近四百個(gè)重點(diǎn)項(xiàng)目全部開(kāi)工 青島促實(shí)體經(jīng)濟(jì)提質(zhì)增效
走進(jìn)位于青島膠州市九龍街道的卡奧斯工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)項(xiàng)目,塔吊林立,數(shù)百名
毒販落網(wǎng)后企圖蒙混過(guò)關(guān) 豈料民警早已端掉“毒窩”
毒販落網(wǎng)后企圖蒙混過(guò)關(guān)豈料民警早已端掉“毒窩”---7月25日,民警發(fā)現(xiàn)
以投建養(yǎng)老公寓等為名非法集資超7億元 主犯被判15年
8月3日上午,上海市第一中級(jí)人民法院依法公開(kāi)宣判被告人張碗平集資詐騙
采埃孚發(fā)布上半年財(cái)報(bào),銷售額同比增長(zhǎng)10%
采埃孚預(yù)計(jì)2023年集團(tuán)銷售額將適度增長(zhǎng),超過(guò)450億歐元,調(diào)整后息稅前
湖南岳陽(yáng)可提供飛利浦電烤箱維修服務(wù)地址在哪
1、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)樓區(qū)求索東路海事局正對(duì)面金陽(yáng)巷飛利浦特約服務(wù)中心0730-8294
國(guó)家防總針對(duì)臺(tái)風(fēng)“卡努”啟動(dòng)防汛防臺(tái)風(fēng)四級(jí)應(yīng)急響應(yīng)
國(guó)家防總于8月2日15時(shí)針對(duì)今年第6號(hào)臺(tái)風(fēng)“卡努”啟動(dòng)防汛防臺(tái)風(fēng)四級(jí)應(yīng)
護(hù)照辦理需要什么材料 具體程序是怎樣的
hello大家好,我是城鄉(xiāng)經(jīng)濟(jì)網(wǎng)小晟來(lái)為大家解答以上問(wèn)題,護(hù)照辦理需要
2023年陜西高教系統(tǒng)職業(yè)中等專業(yè)學(xué)校招生專業(yè)有哪些 2023陜西高教系統(tǒng)職業(yè)中等專業(yè)學(xué)校招生人數(shù)
陜西省高教系統(tǒng)職業(yè)中等專業(yè)學(xué)校招生計(jì)劃招生專業(yè)招生指標(biāo)護(hù)理100藥劑1
大連人各級(jí)梯隊(duì)出戰(zhàn)2023中國(guó)青少年足球聯(lián)賽,今日(8月3日)戰(zhàn)報(bào)
北京時(shí)間8月3日(今日),2023中國(guó)青少年足球聯(lián)賽結(jié)束的比賽中,大連人
2023年金華磐安縣高校畢業(yè)生一次性創(chuàng)業(yè)補(bǔ)貼
高校畢業(yè)生就業(yè)創(chuàng)業(yè)政策——一次性創(chuàng)業(yè)補(bǔ)貼享受主體:在校大學(xué)生和畢業(yè)
LK-99室溫超導(dǎo),見(jiàn)證歷史,激發(fā)萬(wàn)萬(wàn)億市場(chǎng),還是又一輪烏龍?
近日,韓國(guó)一個(gè)科學(xué)家團(tuán)隊(duì)表示,他們發(fā)現(xiàn)了全球首個(gè)室溫常壓超導(dǎo)材料—
就在明天,臺(tái)風(fēng)“卡努”要拐了!今明兩天杭州有陣雨或雷雨,有較大的東北風(fēng)
這周杭州人對(duì)臺(tái)風(fēng)“卡努”的關(guān)注,從“臺(tái)風(fēng)要來(lái)了”,到“臺(tái)風(fēng)到哪兒了
汽車電氣化加速 電驅(qū)系統(tǒng)市場(chǎng)正迎來(lái)廣闊的發(fā)展空間
汽車電氣化加速電驅(qū)系統(tǒng)市場(chǎng)正迎來(lái)廣闊的發(fā)展空間, 8月1日晚間,時(shí)
『看病速知』廣州看青春痘的好醫(yī)院「重大爆料」廣州治療青春痘的醫(yī)院
廣州看青春痘的好醫(yī)院?答:1、廣州膚康皮膚病醫(yī)院2、廣州青春痘醫(yī)院3、
國(guó)家氣候中心:預(yù)計(jì)今年秋季形成一次中等以上強(qiáng)度的厄爾尼諾事件
據(jù)中國(guó)氣象局8月3日消息,8月新聞發(fā)布會(huì)今日舉行。國(guó)家氣候中心副主任
國(guó)內(nèi)首套并網(wǎng)型大負(fù)荷柔性控制終端裝置在云南文山落地應(yīng)用
7月20日,云南電網(wǎng)公司聯(lián)合武漢大學(xué)研發(fā)的國(guó)內(nèi)首套并網(wǎng)型大負(fù)荷柔性控
雅戈?duì)?600177.SH):控股股東及一致行動(dòng)人累計(jì)增持0.33%股份
格隆匯8月2日丨雅戈?duì)?600177 SH)公布,截至2023年8月2日,控股股東雅
西南證券給予康辰藥業(yè)買入評(píng)級(jí),蘇靈高速增長(zhǎng),股權(quán)激勵(lì)出臺(tái)彰顯發(fā)展信心
每經(jīng)AI快訊,西南證券08月02日發(fā)布研報(bào)稱,給予康辰藥業(yè)(603590 SH,
OPPO K9 充不進(jìn)去電什么情況
OPPOK9充不進(jìn)去電什么情況是很多用戶關(guān)心的問(wèn)題,如果您想了解這些問(wèn)題
平均年齡17歲,山東這支女足隊(duì)何以贏得世界冠軍?
中新社濟(jì)南8月2日電(記者趙曉)“我們踐行體教融合理念,平常不僅對(duì)學(xué)生
交通運(yùn)輸部:7月全國(guó)城市軌道交通客運(yùn)量同比增長(zhǎng)36.4%
2023年7月,31個(gè)省(自治區(qū)、直轄市)和新疆生產(chǎn)建設(shè)兵團(tuán)共有54個(gè)城市
中央氣象臺(tái)8月2日10時(shí)繼續(xù)發(fā)布強(qiáng)對(duì)流天氣藍(lán)色預(yù)警
中央氣象臺(tái)8月2日10時(shí)繼續(xù)發(fā)布強(qiáng)對(duì)流天氣藍(lán)色預(yù)警:預(yù)計(jì)8月2日14時(shí)至3
微軟推新 Xbox Game Pass Core訂閱服務(wù) 能玩專屬游戲庫(kù)
微軟近日宣布,將推出XboxGamePassCore訂閱服務(wù),以取代先前的XboxLive
浙江出臺(tái)促進(jìn)個(gè)體經(jīng)濟(jì)發(fā)展43條政策舉措
新華社杭州8月1日電(記者張璇)記者1日從浙江省市場(chǎng)監(jiān)督管理局獲悉,
遼寧成大多元化拖累疊加股權(quán)分散被狙擊?粵民投的資本玲瓏棋局|醫(yī)藥分拆資本局
炒股就看金麒麟分析師研報(bào),權(quán)威,專業(yè),及時(shí),全面,助您挖掘潛力主題
北京門頭溝區(qū)發(fā)布防汛搶險(xiǎn)救災(zāi)信息
8月3日,門頭溝區(qū)防汛搶險(xiǎn)救災(zāi)工作領(lǐng)導(dǎo)小組發(fā)布防汛搶險(xiǎn)救災(zāi)信息,詳情
2023港澳臺(tái)僑青少年詩(shī)歌節(jié)啟動(dòng)
本報(bào)訊(記者路艷霞)8月2日,“詩(shī)畫中華北京有約”2023港澳臺(tái)僑青少年
慈溪時(shí)代電影大世界新都匯店(慈溪時(shí)代電影大世界)
大家好,小福來(lái)為大家解答以上的問(wèn)題。慈溪時(shí)代電影大世界新都匯店,慈
中國(guó)氣象局研討推進(jìn)人工智能氣象預(yù)報(bào)大模型建設(shè)
8月3日,中國(guó)氣象局圍繞人工智能(161631)氣象預(yù)報(bào)大模型建設(shè)展開(kāi)研討,
關(guān)于錯(cuò)峰休假、彈性作息、汽車限購(gòu)……最新部署來(lái)了→
為深入實(shí)施擴(kuò)大內(nèi)需戰(zhàn)略,充分發(fā)揮消費(fèi)對(duì)經(jīng)濟(jì)發(fā)展的基礎(chǔ)性作用,國(guó)家發(fā)
西班牙甲級(jí)聯(lián)賽:致力于用人工智能和機(jī)器學(xué)習(xí)改變球迷體驗(yàn)
IT在西班牙開(kāi)展和體驗(yàn)足球這項(xiàng)全球最受歡迎的運(yùn)動(dòng)方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用。
記者:賽前教練組向全隊(duì)宣布登貝萊缺席戰(zhàn)米蘭,球員笑著抵達(dá)球場(chǎng)
記者:賽前教練組向全隊(duì)宣布登貝萊缺席戰(zhàn)米蘭,球員笑著抵達(dá)球場(chǎng),米蘭,
中國(guó)隊(duì)獲成都大運(yùn)會(huì)射擊10米氣步槍混合團(tuán)體金牌
新華社成都8月2日電在2日舉行的成都大運(yùn)會(huì)射擊比賽中,由張雨、宋布寒
新建項(xiàng)目產(chǎn)能釋放惠城環(huán)保2023年上半年業(yè)績(jī)大幅增長(zhǎng)
惠城環(huán)保(300779 SZ)日前發(fā)布了2023年半年度報(bào)告。報(bào)告顯示,公司上半
特斯拉Model 3停產(chǎn)改款 8月14日生產(chǎn) 新款款車即將上線
近日,網(wǎng)絡(luò)上流傳出一些疑似特斯拉員工的交流信息,顯示目前在國(guó)內(nèi)生產(chǎn)
8月起,養(yǎng)老金將迎來(lái)重算補(bǔ)發(fā),有人可以補(bǔ)發(fā)3000元以上,看看?
視頻加載中 8月起,養(yǎng)老金將迎來(lái)重算補(bǔ)發(fā),有人可以補(bǔ)發(fā)3000元以上,
