權威媒體曝光:國產28nm浸潤式光刻機,有望年底交付
眾所周知,在芯片產業鏈中,光刻機是所有設備中,比較關鍵的一個。
(資料圖片僅供參考)
最重要的是,這個光刻機技術,國內落后國際水平實在太遠了。ASML的光刻機已經實現了3nm工藝,是EUV光刻機。
而國內最先進的光刻機,還是上海微電子的SSA600系列,精度僅為90nm,連浸潤式光刻機,都研發不出來。
也正因為如此,所以ASML一直在光刻機上卡我們脖子,也讓我們的芯片制造因為缺少光刻機,而停留在成熟工藝上,邁不進10nm,以及7nm。
所以一直以來,大家都希望國產光刻機能夠突破,進入到28nm階段,因為一旦實現28nm,就意味著擁有了浸潤式光刻機,實際不僅僅是能生產28nm芯片,進行多次曝光之后,甚至有可能達到7nm。
而近日,權威媒體曝光了一個重大消息,那就是國產28nm光刻機,有望年底交付。
什么是權威媒體,當然不是一些自媒體,而是新華網這個官媒,新華網是 國家通訊社 新華社旗下的媒體,當然是非常權威的。
如下圖所示,新華網將新光刻機的型號等都公布出來了,是SSA/800-10W,并表示預計在年底國產,是一臺28nm浸沒式(浸潤式)光刻機。
而浸潤式光刻機,目前有三種 多重曝光技術,分別是LELE、LFLE、SADP,最高確實能夠生產7nm的芯片。
比如ASML目前在售的三種浸潤式光刻機,實際都能實現7nm芯片的光刻,哪怕是相對最成熟的NXE:1980Di,也可以用于7nm芯片制造。
而從普通的干式光刻機,到浸潤式光刻機,是一個質的飛躍,要知道目前全球僅ASML、尼康兩家能制造浸潤式光刻機,佳能都不行,如果我們真的能夠制造浸潤式光刻機了,這是不是一個好消息了?
甚至想的更遠一點,如果這臺28nm的光刻機,能夠制造7nm芯片,可能都會對當前的芯片禁令產生巨大的影響。
因為目前的芯片禁令,針對的邏輯芯片是14nm及以下的芯片,如果國產光刻機能夠實現7nm,這個芯片禁令或許就要被撕開一個口子了,是不是意義重大?
當然,任何東西在沒有真正量產交付之前,我們還是要持懷疑態度的,因為這個28nm光刻機的消息,傳了好幾年了,但一直只在傳說中,沒有真正見到過。
那么接下來,就只有讓我們拭目以待了,看看他到底什么時候量產交付,又能生產出多少納米的芯片。
關鍵詞:
